隨著科技不斷地發(fā)展，中國科技也迅速崛起，不少科技研究都打破了國外技術壁壘。其中，鄭州大學科研團隊研發(fā)的ITO靶材，其關鍵技術指標達到了國際先進水平。該項技術不僅解決了“卡脖子”問題，實現(xiàn)了ITO靶材制備整體工藝技術自主創(chuàng)新，更是一舉打破了日韓企業(yè)在該領域的壟斷。

那么，這是一個什么樣的技術？它的應用都有哪些？這項技術的研究意義又是什么？

這是個什么樣的技術？

ITO靶材，又稱氧化銦錫材料，是電子產(chǎn)品顯示屏所用的關鍵材料之一。

沒有這個關鍵材料，顯示屏的玻璃基材就不透明不導電。ITO靶材用磁控濺射離子束對著靶材進行高速轟擊，將其氣化濺鍍到玻璃基板上，就形成了一層既導電又透明的ITO膜。

2015年至今，鄭州大學的何季麟院士團隊經(jīng)過數(shù)年的研發(fā)，終于成功取得了“平板顯示用高性能ITO靶材的關鍵技術及工程化”項目的成果，實現(xiàn)了中國在高端ITO靶材的制造生產(chǎn)領域從零到有的突破。

在這個領域里，何季麟院士團隊研發(fā)出關鍵技術體系，包含：ITO靶材粉體制備、素坯注漿成型、無壓氧氣氛燒結與靶坯綁定。

這個技術的應用范圍有哪些？

從2019年至2021年數(shù)據(jù)來看，國內(nèi)ITO靶材市場容量從639噸增長到1,002噸，年復合增長率為25.22%?？梢?，ITO靶材應用范圍較廣，這里例舉主要的三大領域如下（其他領域不做介紹）。

1、顯示屏領域的應用

近幾年，隨著電子數(shù)碼產(chǎn)品行業(yè)的飛速發(fā)展，以陰極射線管(CRT)為主的電腦、電視顯示屏占據(jù)了市場主流，這對ITO靶材的技術要求也大幅提高。另外，隨著LCD、觸摸面板和OLED等下游市場需求的快速擴大，國內(nèi)對高端ITO靶材的需求持續(xù)上升。

2、集成電路半導體的應用

?在集成電路半導體產(chǎn)業(yè)里，硅晶片的制造商對靶材需求大，國內(nèi)在半導體靶材占比約約 9%。

由于，靶材的結晶粒子直徑和均勻性是影響薄膜沉積率的關鍵因素，因此，半導體對靶材濺射薄膜的品質要求是最苛刻的，要求所制造的靶材具有更好的微觀結構（比如：大尺寸、高純度、低偏析和細晶粒）。

因此，隨著需求和要求的不斷提高，也會帶動高端ITO靶材技術的發(fā)展。

3、太陽能電的應用

太陽能電池板的基本成分是薄膜太陽能電池，這里的薄膜也需要用到ITO靶材，在國內(nèi)太陽能電靶材應用占比約為9%。

而且，國內(nèi)為了實現(xiàn)2030年達到碳中和的目標，會大力發(fā)展新能源（風能和太陽能等）的建設。因此，隨著太陽能電的建設越來越多，也將會增加對ITO靶材的需求。

這項技術的研發(fā)意義

1、打破技術壁壘，實現(xiàn)超越

在20年前，這項技術是被外國“卡脖子”，其他發(fā)達國家不僅實行技術保密，還不賣裝備，國內(nèi)對此項技術更是無材料可查。乃至2018年，國內(nèi)還沒有一家企業(yè)能做超過32英寸的靶材，燒不出大號靶材，中國平板顯示制造就陷入困境。

因此，何季麟院士團隊實現(xiàn)了大尺寸ITO靶材制備關鍵技術突破，直接打破了國外技術壁壘。為我國建立了ITO靶材制備新型工藝流程，并形成完善的全流程工藝裝備體系及控制標準，并實現(xiàn)技術指標達到國際先進水平。

2、改變了日韓企業(yè)的壟斷局面

之前，由于日韓企業(yè)把握著生產(chǎn)制造ITO靶材的技術，所以全球的ITO靶材的生產(chǎn)和銷售都集中在日韓企業(yè)手里。如今，我國的ITO靶材新技術研發(fā)成功，并已經(jīng)成功應用于世界最大面板企業(yè)京東方的高世代TFT線，完全實現(xiàn)國產(chǎn)替代進口，改變了ITO靶材市場格局。

這不僅打破了日韓企業(yè)的壟斷局面，甚至，由于?該項技術的應用，迫使日本ITO靶材大幅降價，降幅75%以上。

3、推進關鍵材料的國產(chǎn)化進程

我國通過自研的創(chuàng)新技術，不僅實現(xiàn)國產(chǎn)高端ITO的生產(chǎn)與供應，還基于這項技術建立了高水平靶材研發(fā)平臺與團隊，為行業(yè)培養(yǎng)了一批骨干人才。

隨著技術廣泛應用，以及人才的批量培養(yǎng)，進一步推進國內(nèi)新興顯示產(chǎn)業(yè)關鍵基材的國產(chǎn)化進程，逐步實現(xiàn)關鍵基材“中國制造”到“中國創(chuàng)造”的轉變。

結束語

國內(nèi)研發(fā)的ITO靶材的技術，不僅打破了日韓企業(yè)的壟斷局面，更是達到了國際領先水平?？梢钥吹剑S著國內(nèi)科技的發(fā)展，一些關鍵技術“卡脖子”的問題，正在一步步地解決。

當然，這離不開國內(nèi)科研人員的努力，以及國家的大力支持。筆者相信，只要國內(nèi)科企和科研人員，舍去“買辦”思想，丟棄依賴進口技術的習慣，用不了多久就會創(chuàng)造出更多的領先國際的技術。

對此，你怎么看呢？