集微網(wǎng)報(bào)道 對(duì)于中國(guó)大陸獲得先進(jìn)芯片制造能力的限制，美國(guó)正在步步緊逼，最近又將目標(biāo)定格在14nm。彭博社的報(bào)道指出，過(guò)去兩周所有美國(guó)設(shè)備制造商都收到了美國(guó)商務(wù)部的信函，要求它們不要向中國(guó)大陸供應(yīng)用于制造14nm或更先進(jìn)工藝的設(shè)備。

這也意味著，美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備出口管制禁令覆蓋的制程范圍進(jìn)一步擴(kuò)大，更廣泛的廠商受到波及。重重遏阻之下，大陸半導(dǎo)體業(yè)發(fā)展繼續(xù)承壓前行。

設(shè)備管制步步緊逼

近年來(lái)，美國(guó)逐步加強(qiáng)對(duì)中國(guó)大陸獲得芯片制造設(shè)備的限制，阻止中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速崛起。

2020年12月，美國(guó)商務(wù)部將中芯國(guó)際拉入“實(shí)體清單”，禁止美國(guó)出口商在未獲許可證的情況下向其出售制造10nm及以下先進(jìn)制程芯片的設(shè)備。繼華為之后，再次動(dòng)用國(guó)家力量打擊中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)。

這對(duì)大陸代工龍頭在先進(jìn)工藝研發(fā)和產(chǎn)能建設(shè)上造成了極大影響，先進(jìn)制程上的前行之路遭遇阻滯。

但美國(guó)并末就此松手。去年6月美國(guó)公司被禁止直接向中國(guó)大陸出售28nm相關(guān)設(shè)備，同時(shí)在沒有獲得許可的情況下，也禁止從第三方轉(zhuǎn)移相關(guān)設(shè)備進(jìn)入中國(guó)大陸市場(chǎng)。

盡管美國(guó)沒有冠冕堂皇地呈上“白紙黑字”的正式公告，但供應(yīng)鏈的消息指出，中芯國(guó)際送審后即被卡住，而對(duì)于在大陸設(shè)廠的臺(tái)積電南京廠、廈門聯(lián)芯的審批在經(jīng)歷一些波折之后得以通過(guò)。

28nm是承上啟下的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，被業(yè)界稱為“黃金線”。28nm對(duì)大多數(shù)芯片而言都具備較好的性價(jià)比，這意味著擁有巨量市場(chǎng)和空間，特別經(jīng)歷全球缺芯后讓持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)28nm產(chǎn)能成為代工廠的重要規(guī)劃之一。

圖源：國(guó)元證券研究中心

而且據(jù)悉使用在28nm制程上的某些設(shè)備，也可以向下沿用至14nm制程節(jié)點(diǎn)，這可能是美國(guó)不肯放行28nm關(guān)鍵設(shè)備的原因，即進(jìn)一步堵住中國(guó)大陸各種通往先進(jìn)制程之路的可能。

如今，14nm的路再被堵上，而且限制范圍從內(nèi)資擴(kuò)大到更廣泛的在大陸運(yùn)營(yíng)的代工廠，先進(jìn)工藝的肉不讓吃，成熟制程的湯也不給喝，是想讓大陸半導(dǎo)體業(yè)徹底“斷了念想”。

四點(diǎn)原因盯上14nm

此次美國(guó)“鎖定”14nm相關(guān)制程，有更深的圖謀。

首先，針對(duì)性和打擊的精準(zhǔn)性更強(qiáng)。在集微咨詢資深分析師陳翔看來(lái)，這次14nm設(shè)備禁運(yùn)主要是限制大陸代工技術(shù)節(jié)點(diǎn)的發(fā)展，現(xiàn)在大陸代工最先進(jìn)的就是14nm，相當(dāng)于從源頭上減緩了大陸代工的發(fā)展。

中芯國(guó)際2021年總營(yíng)收創(chuàng)下歷史最高的54.431億美元，14/28nm營(yíng)收占比為15.1%。而且，前不久華虹也宣布掌握了14nm技術(shù)。大陸代工業(yè)要在先進(jìn)制程上起跳，14nm是繞不過(guò)去的支點(diǎn)。

同時(shí)，兩大代工廠都正著力于擴(kuò)大14nm產(chǎn)能，提升良率。近兩年大陸大型Fabless也在不斷增加對(duì)中芯國(guó)際的14nm和N+1制程技術(shù)的New Tape-out數(shù)量，無(wú)論是對(duì)設(shè)計(jì)業(yè)還是對(duì)上游設(shè)備與材料的拉動(dòng)產(chǎn)生強(qiáng)效應(yīng)。因此，對(duì)于14nm及以下設(shè)備的限制，無(wú)疑對(duì)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)生干擾。

其次，切斷14nm向更先進(jìn)工藝挺進(jìn)之路。一位代工行業(yè)人士表示，14nm是一個(gè)非常重要的節(jié)點(diǎn)，通過(guò)堆疊、先進(jìn)封裝等技術(shù)的支撐，在14nm的基礎(chǔ)上或可升級(jí)至7nm。

第三，從應(yīng)用看，14nm是大陸致力于自主可控的IT信創(chuàng)等基礎(chǔ)設(shè)施的關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，如果在這一節(jié)點(diǎn)進(jìn)行封鎖，將對(duì)大陸CPU、GPU、AI等高端芯片業(yè)的發(fā)展制造嚴(yán)重的障礙。

第四，結(jié)合美國(guó)的制裁對(duì)象可能涵蓋所有具有先進(jìn)制造能力的在華芯片企業(yè)，并且在近期即將由美國(guó)總統(tǒng)拜登簽署的“芯片法案”的背景之下，不難看出，一方面，這一禁令既限制中國(guó)大陸獲得先進(jìn)工藝技術(shù)，另一方面又將促使外企在中國(guó)大陸的先進(jìn)制造能力也是高毛利的制造能力轉(zhuǎn)移到美國(guó)。

有行業(yè)分析人士指出，美國(guó)的種種對(duì)于中國(guó)大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的限制措施表明，并不是簡(jiǎn)單的減緩發(fā)展，而是朝著試圖削弱中國(guó)半導(dǎo)體能力的方向發(fā)展。

波及廣泛的影響

從精準(zhǔn)打擊中芯國(guó)際，到全面撒網(wǎng)至在大陸投資運(yùn)營(yíng)先進(jìn)制程的代工企業(yè)；從限制10nm及以下先進(jìn)工藝發(fā)展，到28nm成熟制程再至14nm，美國(guó)為扼制大陸半導(dǎo)體業(yè)發(fā)展的咽喉祭出了層出不窮的組合拳。

而隨著14nm設(shè)備禁運(yùn)提上日程，無(wú)疑為大陸在先進(jìn)工藝層面的藍(lán)圖蒙上了巨大的陰霾。

直接來(lái)看，因設(shè)備禁運(yùn)不僅涉及原有引進(jìn)設(shè)備的維修、軟件升級(jí)服務(wù)，還面臨某些關(guān)鍵設(shè)備的“斷供”，中芯國(guó)際、華虹等大陸代工企業(yè)的正常運(yùn)營(yíng)與產(chǎn)能擴(kuò)充均會(huì)遭受沖擊，也進(jìn)一步影響了工藝升級(jí)之路。同時(shí)對(duì)設(shè)備業(yè)如應(yīng)用材料、阿斯麥(ASML)和東京電子等的影響也不可忽視。此外，大陸作為全球半導(dǎo)體業(yè)的重要參與者，進(jìn)一步擴(kuò)大對(duì)其禁售，意味著全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈也將會(huì)面臨新的危機(jī)。

從產(chǎn)業(yè)折損程度來(lái)看，則不止是先進(jìn)工藝發(fā)展受到“斷崖式”影響，連帶著成熟制程發(fā)展也波及甚廣。

彭博社指出，雖然新的限制措施專門針對(duì)能夠制造14nm以下先進(jìn)芯片的設(shè)備，但成熟芯片仍可能受到影響，因?yàn)榧s90%的設(shè)備一代一代兼容。代工廠本可以在遷移到更先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)時(shí)重復(fù)使用設(shè)備，這意味著禁止生產(chǎn)一代設(shè)備可能會(huì)產(chǎn)生長(zhǎng)期的連鎖反應(yīng)。

在打壓大陸半導(dǎo)體業(yè)層面，美國(guó)還特別注重建立自己的“小圈子”，通過(guò)芯片法案拉攏一眾盟友站臺(tái)，還在積極游說(shuō)其他國(guó)家，希望他們跟隨美國(guó)腳步，禁止對(duì)中國(guó)出口芯片制造相關(guān)設(shè)備，特別是歐洲和日本。

“如果美國(guó)聯(lián)合歐日韓的話，那基本就是全面卡死，短期影響可能是中芯國(guó)際，但是長(zhǎng)期來(lái)看，則會(huì)阻礙大陸先進(jìn)工藝發(fā)展之路?！鄙鲜鲂袠I(yè)分析人士解讀說(shuō)。

而半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈可謂是一損俱損，制造業(yè)“歇停”連帶著對(duì)下游設(shè)計(jì)業(yè)帶來(lái)深重影響。

陳翔表示，在這一禁令之下，相應(yīng)地先進(jìn)制程的市場(chǎng)就會(huì)被大陸以外的代工所占據(jù)，那采用先進(jìn)制程的大陸設(shè)計(jì)企業(yè)只能選擇大陸之外的代工廠，這會(huì)受到相當(dāng)大的制約。

效果存疑切莫自亂陣腳

盡管美國(guó)的盤算打得很精，但考慮到半導(dǎo)體設(shè)備的特殊性，這份超長(zhǎng)“打擊”能否起到預(yù)料的效果依然存疑。

一位臺(tái)灣行業(yè)資深人士坦言，現(xiàn)在各種交流渠道如此得頻繁，試圖完全禁止真的很難。而且14nm和10nm或可采用同一設(shè)備產(chǎn)線，調(diào)機(jī)能力不同可以造就不同的工藝，能力關(guān)鍵在于人才。

“只要投進(jìn)時(shí)間和心力，突破應(yīng)該不難。而且美國(guó)禁令是傷敵一千、自損八百，最后比得是誰(shuí)氣長(zhǎng)。”該人士說(shuō)。

陳啟對(duì)此表示認(rèn)同，他認(rèn)為有些半導(dǎo)體設(shè)備可以跨很多制程，40nm能用，28nm能用，14nm也能用，美國(guó)如果說(shuō)禁，那等于全都搞不了。

“半導(dǎo)體制造體系涉及面甚廣，任何一個(gè)細(xì)小的零部件都是牽一發(fā)而動(dòng)全身，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈早是我中有你，你中有我。美國(guó)利用自己的產(chǎn)業(yè)鏈上優(yōu)勢(shì)地位針對(duì)中國(guó)，看似能夠達(dá)到目的，但是背后已經(jīng)損害了整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈，半導(dǎo)體業(yè)能發(fā)展到今天這一高度是全球化的結(jié)果。面對(duì)這一局面，中國(guó)需要掌握核心技術(shù)，同時(shí)更要把自己的核心技術(shù)更好融入全球產(chǎn)業(yè)鏈的，而不是簡(jiǎn)單的搞技術(shù)對(duì)抗，你有我也必須有?！标悊⒔ㄗh道。

另有業(yè)內(nèi)人士指出，盡管設(shè)備有兼容性，但有些先進(jìn)工藝設(shè)備還是有區(qū)分的，如光刻機(jī)、刻蝕、ALD等先進(jìn)工藝區(qū)別明顯，而擴(kuò)散、清洗、CVD等兼容性好，設(shè)備廠對(duì)此清楚，美國(guó)真要控制應(yīng)該也會(huì)全面權(quán)衡。

多數(shù)采訪人士提醒，如今美國(guó)一意孤行強(qiáng)行切割，尤其是在中國(guó)掀起芯片反腐風(fēng)暴、美國(guó)出臺(tái)芯片法案之際，加大制裁力度，不斷興風(fēng)作浪，也有重?fù)舸箨懓l(fā)展半導(dǎo)體信心的意圖。面對(duì)打壓，行業(yè)更要沉心靜氣尋求應(yīng)對(duì)之道，切莫自亂陣腳。同時(shí)，也要下定決心背水一戰(zhàn)，大力將強(qiáng)國(guó)產(chǎn)設(shè)備和基礎(chǔ)材料研究，從國(guó)家層面推動(dòng)關(guān)鍵設(shè)備和零部件研發(fā)，努力擺脫受制于人的窘境。（校對(duì)/李映）